F60 medidor automático de espesor de película

NegociableActualización en02/24

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Descripción general

F60 medidor automático de espesor de película

Detalles del producto

I,Introducción

La serie filmerics de KLA utiliza la tecnología de reflexión espectral para lograr una medición precisa del espesor de la película, cuyo rango de medición es de nm a mm, que puede lograr una medición precisa del espesor de la película como fotorresistentes, óxidos, silicio u otras películas semiconductoras, películas orgánicas, películas transparentes conductoras, etc., y es ampliamente utilizada en semiconductores, microelectrónica, biomedicina y Otros campos. Filmerics cuenta con una variedad de productos como F10 - hc, f20, f32, f40, f50, F60 - t, que permiten medir muestras de varios mm a 450 mm de tamaño, con un rango de medición del espesor de la película de 1 nm a mm. Los productos de la serie filmerics F60 pueden mapear el grosor y el índice de refracción de la película como los productos f50, pero añade muchas funciones para entornos de producción. Estas funciones incluyen detección automática de ranuras, determinación automática de referencia, Plataforma de medición completamente cerrada, computadora industrial con software preinstalado y modelo actualizado a transmisión de obleas totalmente automatizada. Los diferentes instrumentos F60 - T se distinguen por el rango de longitud de onda. Las longitudes de onda más cortas (por ejemplo, F60 - T - uv) se utilizan generalmente para medir películas más delgadas, mientras que las más largas pueden usarse para medir películas más gruesas, desiguales y opacas. .

Principio de medición- -Reflejo espectral

EspectroPolarímetro elípticoTanto (se) como el reflector espectral (sr) utilizan la luz reflejada analítica para determinar el grosor yíndice de refracciónLa principal diferencia entre los dos es que el elipsometro mide un ángulo pequeño desdePelícula delgadaLa luz reflejada, mientras que el reflector espectral mide la luz reflejada verticalmente desde la película. El reflector espectral mide la luz vertical, que ignora el efecto de polarización (la gran mayoría de las películas son simétricas en rotación). Debido a que no implica ningún dispositivo móvil, el reflector espectral se convierte en un instrumento simple y de bajo costo. El reflector espectral se puede integrar fácilmente para agregar un análisis de transmisión de luz más potente. El reflector espectral suele ser la primera opción con un espesor de película superior a 10 um, mientras que el elipsometro se centra en un espesor de película más delgado que 10 nm. Entre 10 nm y 10 um de espesor, ambas tecnologías están disponibles. Y los espectrómetros con características rápidas, simples y de bajo costo suelen ser una mejor opción.