F30 medidor de espesor de película en línea

NegociableActualización en02/24

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Descripción general

F30 medidor de espesor de película en línea

Detalles del producto

I,Introducción

La serie filmerics de KLA utiliza la tecnología de reflexión espectral para lograr una medición precisa del espesor de la película, cuyo rango de medición es de nm a mm, que puede lograr una medición precisa del espesor de la película como fotorresistentes, óxidos, silicio u otras películas semiconductoras, películas orgánicas, películas transparentes conductoras, etc., y es ampliamente utilizada en semiconductores, microelectrónica, biomedicina y Otros campos. Filmerics cuenta con una variedad de productos como F10 - hc, f20, f32, f40, f50, F60 - t, que permiten medir muestras de varios mm a 450 mm de tamaño, con un rango de medición del espesor de la película de 1 nm a mm. Los productos de la serie filmerics f30 miden en tiempo real la tasa de depósito, el grosor de la capa de depósito, las constantes ópticas (n y k) y la uniformidad de los semiconductores y la capa dieléctrica en la deposición química de vapor orgánico metálico (mocvd), la Epitaxia de haz molecular (mbe) y otros procesos de depósito a través de un sistema de reflectividad espectral. las películas medidas pueden ser lisas y translúcidas, o la f30 ligeramente absorbida puede detectar y monitorear la reflectividad, el espesor y la tasa de depósito a través de la Epitaxia de haz molecular y la tecnología de deposición química de vapor orgánico metálico. Esto en realidad incluye cualquier material semiconductor, desde nitruro de galio y aluminio hasta galio, indio, fósforo y arsénico..

Principio de medición- -Reflejo espectral

EspectroPolarímetro elípticoTanto (se) como el reflector espectral (sr) utilizan la luz reflejada analítica para determinar el grosor yíndice de refracciónLa principal diferencia entre los dos es que el elipsometro mide un ángulo pequeño desdePelícula delgadaLa luz reflejada, mientras que el reflector espectral mide la luz reflejada verticalmente desde la película. El reflector espectral mide la luz vertical, que ignora el efecto de polarización (la gran mayoría de las películas son simétricas en rotación). Debido a que no implica ningún dispositivo móvil, el reflector espectral se convierte en un instrumento simple y de bajo costo. El reflector espectral se puede integrar fácilmente para agregar un análisis de transmisión de luz más potente. El reflector espectral suele ser la primera opción con un espesor de película superior a 10 um, mientras que el elipsometro se centra en un espesor de película más delgado que 10 nm. Entre 10 nm y 10 um de espesor, ambas tecnologías están disponibles. Y los espectrómetros con características rápidas, simples y de bajo costo suelen ser una mejor opción.

En segundo lugar,Funciones principales

lPrincipales aplicaciones

Medir la tasa de depósito, el espesor de la capa de depósito, las constantes ópticas (valores n y k) y la uniformidad de los semiconductores y la capa dieléctrica

- película lisa y translúcida

- película absorbente leve

- medición del espesor de la película en tiempo real