Microscopio de fuerza atómica de Park Systems nx10

Imágenes precisas,Sin fenómeno de acoplamiento cruzado

El eje XYZ superior de la industria, las muestras y las sondas son controladas por escáneres guiados flexibles independientes, respectivamente.

* bajo desplazamiento plano, el desplazamiento plano no supera el 1 Nanómetro durante todo el escaneo horizontal

Cuando el escáner vertical se expande durante todo el proceso, la lineal es mejor que 0015%

Fenómeno de Ring de escáneres horizontales optimizados, algoritmo científico sin - can positivo

Escaneo preciso, modo real sin contacto

Escáneres verticales superiores de la industria, con un ancho de banda de más de 9 kHz y una velocidad de respuesta servomotores verticales de sonda de más de 62 mm / s

En modo sin contacto * velocidad de escaneo rápida

El desgaste extremadamente bajo de la sonda garantiza un escaneo de alta calidad durante mucho tiempo

Daño de muestra extremadamente bajo

Medición precisa, morfología real de la muestra

Medición de la morfología de las muestras con detectores de retraso de bajo ruido superiores en la industria

La desviación mínima de medición positiva y negativa superior de la industria es inferior al 0,15%.

El uso de componentes de disipación de calor optimizados reduce en gran medida la deriva térmica y el retraso del sistema.

Potente cubierta avanzada de aislamiento acústico, control activo de temperatura en el interior de la cabina, eficiencia de trabajo de los usuarios

Diseño abierto para facilitar el cambio de sondas y muestras

Diseño de clip de prelocalización de sonda, proceso de ajuste láser de medición simple y conveniente, con un sistema de observación intuitivo de arriba a abajo de ladrillo

* función de "entrada de aguja de diez segundos", la sonda puede completar automáticamente la operación de entrada de aguja a alta velocidad.

Caja de control eléctrico digital de 24 dígitos, tres grupos de amplificadores de bloqueo incorporados, con funciones de control q y calibración de constantes elásticas

Parámetros técnicos

XYEscáner

Escáner XY flexible de un solo módulo de control de circuito cerrado

Rango de escaneo: 50

Mu m × 50 Mu M (opcional 100)

Mu m × 100 mu m)

Resolución:

0.05 nmRuido de detección de posicionamiento: inferiora 0,3 nm (ancho de banda: 1 khz)

Lineal horizontal: '2 nm (sobre 40)

μm scan)

Z

Escáner

Escáner de alta potencia guiado flexible

Rango de escaneo: 15

Mu M (30 Mu M opcional)

Resolución:

0.015 nm

Ruido de detección de localización: 0,03 nm (ancho de banda: 1 khz)

Frecuencia de resonancia:

> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

Ruido de imagen superficial: '0,03 nm (0,02 nm típico)

Sistema óptico

Sistema óptico concéntrico de visión directa que puede observar muestras y sondas
视场: 480
× 360 μm (10 × lente objetivo)

Cld: 1m píxeles (resolución de píxeles: 0,4 micras)
Objetivo
Lente de 10 x (0,21 na) rango de trabajo súper largo (resolución de 1 μm)

Lente de alta resolución y largo rango de trabajo 20x (0,42 na) (resolución de 0,6 micras)

Procesamiento de señales

Adc: 18 canales

4 canales ADC de alta velocidad (50 msps)

ADCS de 24 bits para sensores de posicionamiento de escáneres x, y Y Z

Dac: 12 canales

2 canales DAC de alta velocidad (50 msps)

DACS de 20 bits localizados por escáneres x, y Y Z