Bombeo molecular de vacío en la línea de producción Low - E

PfeifferAplicación de Bombas moleculares en la línea de producción Low - E (vidrio de baja radiación)
Low - E se llama low emisivity y es un vidrio recubierto con baja radiación. Es un nuevo tipo de vidrio de ahorro de energía en comparación con el vidrio reflectante térmico. En la actualidad, la tecnología de recubrimiento por pulverización de magnetrón al vacío (método fuera de línea) se utiliza generalmente en el mundo para producir vidrio Low - E. Pfeiffer, un cabello general alemán vendido por BertonBomba molecularSe aplicó con éxito a esto.

Principio: el vidrio se coloca verticalmente en el estante, se introduce en un ambiente de vacío de la magnitud de 10 - 1 pa, se introduce una cantidad adecuada de gas de proceso (gas inerte ar o gas de reacción o2, n2) y se mantiene estable el vacío. Los materiales objetivo ag, si, etc. se incrustan en el cátodo y se colocan campos magnéticos en una dirección horizontal perpendicular al cátodo para formar un objetivo de control magnético. Con el objetivo de control magnético como cátodo, junto con la fuente de alimentación de corriente continua o ac, bajo la acción de alta tensión, el gas de proceso se ioniza para formar plasma. Entre ellos, bajo la acción conjunta de campos eléctricos y magnéticos, los electrones realizan un movimiento espiral de alta velocidad, chocan con moléculas de gas y producen más iones positivos y electrones; Bajo la acción de un campo eléctrico, los iones positivos impactan en el objetivo cátodo después de alcanzar una cierta energía, y el objetivo salpicado se deposita en el sustrato de vidrio para formar una película delgada. Para formar una película uniforme y consistente, el objetivo del cátodo se mueve de un lado a otro cerca de la superficie del vidrio. Para obtener una película multicapa, se deben utilizar varios cátodos, cada uno de los cuales se mueve de un lado a otro en la superficie del vidrio, formando un cierto espesor de película.

Pfeiffer de Alemania se ha ganado el favor de los clientes del mercado Low - e con sus más de 120 años de experiencia en fabricación al vacío y servicio post - venta y soporte técnico en todo el mundo. Von Ardenne es el cliente más típico. PFEIFFERBomba molecularLa línea de producción Loe - E se utiliza en gigantes chinos de fabricación de vidrio como Xinyi Glass y csg.
PfeifferBomba molecularVentajas:

• Velocidad de bombeo múltiple para que los clientes elijan, velocidad de bombeo de 1000 a 2000L / s
• Para H₂, He y ar, CF₄Hay una alta velocidad de bombeo
• Posición de instalación de 0 a 90 grados, 90 a 180 grados
• Alta circulación de gas, incluso ar, CF₄
• La unidad de accionamiento TC 1200 integrada puede conectarse directamente a la fuente de alimentación.
• Resistencia a la corrosión para elegir
• Interfaz rica: RS - 485 y control remoto; Opciones disponibles en PROFIBUS o DeviceNet
• Con los niveles IP 54 y semi s2
• Sistema de rodamiento de rotores estable y seguro
• Cumple con la certificación ul, CSA y TUV
• Instalación simple