Contenido del producto del recubrimiento de pulverización de magnetrón de corriente continua de alta potencia:
El recubrimiento de pulverización de magnetrón de corriente continua de alta potencia incluye un objetivo refrigerado por agua de 2 pulgadas y una mesa de muestra giratoria. El objetivo refrigerado por agua hace que la superficie de la muestra recubierta no se deforme debido a la alta temperatura de recubrimiento, e incluso dañe la muestra; La Mesa de muestra se puede girar, lo que permite recubrir la muestra mientras gira para que la superficie de la muestra recubierta sea uniforme después de la máscara. El equipo tiene una forma pequeña y una alta relación calidad - precio. es un equipo de recubrimiento ideal para hacer varias películas metálicas. se puede seleccionar varios objetivos metálicos y bombas de vacío para su uso con equipos.
Especificaciones técnicas del recubrimiento de pulverización de magnetrón de corriente continua de alta potencia:
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Tensión de entrada
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220 C 50/60Hz ,Uso1000 WTransformadores..15 AFusibles) disponibles110 VFuente de alimentación
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Potencia de salida
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1600 VDC
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250 W
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150 mA max.
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Protección contra sobrecorriente incorporada(>150 mA)
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Sala de muestras
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Tubo de vidrio de cuarzo, 165 mmDiámetro exterior× 150 mmDiámetro interior× 250 mmAltura
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Cabeza de pulverización y Mesa de muestras
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Incluye2 "Cabezal de pulverización de imán magnético flexible con manga refrigerada por agua.
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Un diámetro50 mmEl Banco de muestras de acero inoxidable se puede encontrar en0-5 RPMGira dentro del rango.
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Una barrera operada manualmente se utiliza para proteger el objetivo.
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El soporte de la cabeza de pulverización se puede utilizar para mantener la cabeza de pulverización sin operación.
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La distancia entre la cabeza de pulverización y la Mesa de muestra puede ser60-100mmAjuste entre.
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MaxÁrea de recubrimiento: 4%Diámetromax.
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Uno Enfriador de agua de circulación refrigerado por aire10 L / minCaudal, incluido el enfriamiento de la cabeza de pulverización.
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Panel de control
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6 "Panel de control de pantalla táctil de color,PLCIntegración, fácil de operar
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Un panel para el monitoreo y control de todos los parámetros: vacío, corriente.
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Presión de vacío límite
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IncorporadoKF25Puerto de vacío
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El sistema requiere un regulador de presiónArTanque de gas. (no incluido)
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ParaAu、Ag、Pt、Cu、MoObjetivoVaneBombas de vacío (excluidas)<1.0E-2 Torr(no sensible al aire)
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Bombas moleculares de turbina (excluidas)<1.0E-5 TorrParaAl、Mg、Li、Lr、Ti、ZnObjetivo (sensible al aire)
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Mediante aspiración continua y cocción,zuiBajo vacío se puede alcanzar<4.0E-6Confianza
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Ambiente
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Instalar una válvula de aguja que permitaArMejor recubrimiento de plasma en la entrada de gas
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El sistema requiere un regulador de presiónArTanques de gas (excluidos)
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Objetivo
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Incluyendo uno2Objetivos de cobre de pulgada para pruebas, tamaño objetivo:2Diámetro de la pulgada× 2,5 mm.
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También se puede aplicarAg,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn,Li,MgY casi todos los tipos de materiales metálicos.
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Advertencia: esta máquina puede recubrir objetivos de aluminio, cromo o níquel Sin embargo, consulte el método de recubrimiento recomendado antes de usarlo.
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Por favor, useRFRecubrimiento de alúmina por pulverización de magnetrón de plasma
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Tamaño total
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L 440 mm × W 330 mm × H 290 mm
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Peso neto
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20 kg
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Servicio postventa
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Después de la entrega de las mercancías,CYKYOfrece un servicio post - venta gratuito de un año, y los métodos de servicio se limitan al soporte técnico remoto, como guía telefónica, guía de video, guía de correo y correo de accesorios. Si es necesario enviar a alguien a servir en el lugar, el cliente debe pagar los gastos de viaje del personal de servicio y los salarios durante el viaje de negocios.
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