Controlador de espesor de película

NegociableActualización en05/28

modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

Introducción simple: el controlador de espesor de película Cy - FDC - S es adecuado para varias ocasiones de control de espesor de película, como recubrimiento de haz de electrones, pulverización de magnetrón y evaporación térmica de resistencia. Forma un control de circuito cerrado con la fuente de evaporación, controla y muestra datos completos de recubrimiento en tiempo real, incluyendo potencia, velocidad, espesor y tiempo utilizado, puede recubrir películas ópticas y metálicas complejas, a través del control de pantalla táctil para lograr diversas operaciones, que son más intuitivas y fáciles de entender que las operaciones tradicionales de pulsación de teclas. La programación del instrumento es extremadamente conveniente, se pueden establecer un total de 8 sistemas de película, cada uno con 100 capas de película, lo que le brinda una gran comodidad para el recubrimiento multicapa. Estas funciones le proporcionan una buena base para obtener el proceso de recubrimiento. El controlador de espesor de película FDC - S tiene las siguientes funciones especiales: control manual; Terminar manualmente el recubrimiento, recubrir de acuerdo con la Potencia en ese momento cuando el cristal falla, cambiar el chip para continuar cuando el cristal falla (sonda multichip), interrumpir el sistema de película, prefusión simultánea de dos fuentes, protección de contraseña, etc.

Detalles del producto

Introducción detallada:

Controlador de espesor de película

Características técnicas:

1. Operación de pantalla táctil completa, simple y fácil de usar;

2.32Cada sistema de membrana, cada sistema de membrana50 / 100Recubrimiento automático de la capa;

3.12Entrada de señal de carretera/ 12Salida de la cantidad del interruptor del camino;

4. Modo de control totalmente automático, semiautomático y manualV;

5.Controlable2Una fuente, un conjunto de trabajo y otro conjunto de predisolución;

Parámetros técnicos

	Controlador Cy - FDC - S
Frecuencia cristalina	6 MHz (cristal opcional de 2,5 m 3M 5m 9m)
Modo de visualización	5 "pantalla táctil de color + velocidad de visualización del tubo digital y espesor real
Modo de operación	Pantalla táctil
Espesor final	00 mu0000 9999999
Resolución de visualización de espesor	1/s
Resolución de visualización de velocidad	0.1/s
Número de capas de recubrimiento	32 sistemas de membrana, 50 / 100 capas por sistema de membrana;
Número de sondas	A B
Factor instrumental	0,01 - 99,99
Visualización del tiempo	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Pantalla de potencia	0 a 99,9%
Potencia de prefusión	0 a 99%
Potencia preenterrada	0 a 99,9%
Tiempo de prefusión / tiempo de prerecubrimiento	0～99:99 m:s
Tiempo de aislamiento de prefusión / tiempo de conservación de la temperatura preprocesada	0～99:99 m:s
Tasa de recubrimiento (tasa de configuración)	0 a 999,9 S / s
Almacenamiento de materiales	257 + 10 tipos personalizados
Comunicación	RS232/RS485
Fuente de vapor controlable	2, se puede trabajar un conjunto y otro conjunto de predisolución
Control de salida	± 10v / 5v / 2,5v
I / interfaz	Entrada de señal de 12 canales / salida de conmutación de 12 canales
Número de crisoles controlables	1 - 16
Pantalla recubierta	Curva / valor de velocidad
Número de giras de recubrimiento	50 / 100 capas automáticas por película
Tamaño del Gabinete	480 × 280 × 89mm (gabinete 2u 19 ")

Funciones especiales:

1, manual, semiautomático, automático3Varios modos de recubrimiento para satisfacer una variedad de configuraciones de máquinas de recubrimiento;

2Detener manualmente el recubrimiento: detener manualmente el recubrimiento durante el proceso de recubrimiento;

3Control manual: determinar los requisitos del proceso de recubrimiento inicial;

4¿, sistema de película de interrupción: si se encuentran problemas o fallas en el recubrimiento automático y semiautomático, se puede detener el recubrimiento y guardar automáticamente el Estado actual. después de la falla, ¿ se puede continuar el recubrimiento desde el sistema de película de interrupción?

5Cuando se recubre automáticamente o semiautomáticamente, si el cristal falla, se puede optar por terminar el recubrimiento, recubrir con el tiempo de potencia actual y cambiar el chip para continuar (sonda multichip);

6, dos fuentes se preclasifican al mismo tiempo: en el proceso actual de inicio del recubrimiento de la capa, se puede optar por la preclasificación simultánea de la primera2La capa se preclasifica para satisfacer las ocasiones en las que los requisitos de tiempo son apretados;

7Protección de contraseña: función de protección de contraseña de parámetros de película y película, protegiendo los parámetros del proceso de no ser modificados por personal no artesano;

8Registro de datos de recubrimiento: al recubrimiento automático o semiautomático, el sistema puede registrar el tiempo de formación de película y los parámetros de velocidad de espesor final de cada película.

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