Refrigeradores de laboratorio químico personalización no estándar para satisfacer con precisión las necesidades

Refrigeradores de laboratorio químico personalización no estándar para satisfacer con precisión las necesidades

Refrigeradores de laboratorio químico personalización no estándar para satisfacer con precisión las necesidades

El enfriador de agua de la fábrica de semiconductores debe cumplir con los requisitos de estabilidad de temperatura estricta, disipación rápida de calor y resistencia a la corrosión en la aplicación de control de temperatura de alto calor. los siguientes son los escenarios de aplicación centrales y el análisis de los puntos técnicos principales:

I. aplicaciones típicas en escenarios de alta liberación de calor

1Proceso de grabado（Como el grabado por plasma(...)

El campo eléctrico de alta frecuencia produce una alta temperatura instantánea, y el enfriador de agua necesita disipar rápidamente el calor para mantener la temperatura estable de la cavidad y evitar fluctuaciones en la velocidad de grabado.

2, implantación de iones

Los haces de iones de alta energía producen calor concentrado cuando bombardean las obleas, y los enfriadores de agua deben enfriar el disco objetivo y los componentes del haz para evitar daños en la red cristalina y dopaje desigual.

3, difusión y oxidación

Cuando la temperatura del cuerpo del horno es alta, el enfriador de agua debe quitar rápidamente el calor para evitar el sobrecalentamiento del cuerpo del horno y mantener la uniformidad de la temperatura, y evitar que la obleas se deforman debido al estrés térmico.

4, pulido químico - mecánico()CMP(...)

La fricción de pulido produce altas temperaturas que pueden conducir fácilmente a la volatilización del líquido de pulido, y el enfriador de agua necesita enfriar la almohadilla de pulido y el sistema de transmisión para reducir los defectos superficiales.

5, depósito de película fina()CVD / PVD(...)

El gas de alta temperatura de la cavidad de reacción debe enfriarse rápidamente para evitar reacciones secundarias.V;El enfriamiento del objetivo de pulverización puede prolongar la vida útil y mejorar la uniformidad de la película.

2. dificultades técnicas y soluciones para el control de la temperatura por alta liberación de calor

1Control de temperatura de alta precisión

Necesidad de lograr±0.5℃Precisión de control de temperatura, a través de sistemas de refrigeración multinivel y dinámicaPIDAjuste algorítmico.

2Capacidad de enfriamiento rápido

Algunas escenas necesitan poco tiempo para lograr una gran diferencia de temperatura y enfriamiento, utilizando compresores e intercambiadores de calor de placas para mejorar la eficiencia de refrigeración.

3Diseño de baja vibración y bajo ruido

La cubierta de aislamiento acústico del compresor y la estructura de amortiguación de vibración pueden evitar interferencias de vibración en procesos como la litografía.

Inteligencia y optimización de la eficiencia energética

Integrar el sensor de presión y la válvula electromagnética de tres vías para lograr el cambio entre la presión arterial de la tubería y la circulación interna.V;El sistema de monitoreo inteligente reduce el consumo de energía.

3. puntos clave de la selección de enfriadores de agua

1, coincidencia de capacidad de refrigeración

De acuerdo con la disipación de calor del equipo, elija una capacidad de refrigeración ligeramente superior a la demanda.（Como el diseño redundante(...)Para evitar fallos en el control de la temperatura debido a sobrecarga o ineficiencia.

2, selección de métodos de refrigeración

Escenarios de alta potencia optimizados refrigerados por agua（Alta eficiencia(...)El espacio es limitado por el aire.（Flexible pero menos eficiente(...).

3, adaptabilidad de materiales y procesos

Selección de funciones de aislamiento y protección contra explosionesV;

El compresor de conversión de frecuencia cumple con los estándares de producción de la fábrica de semiconductores.

La escena de alta liberación de calor de la fábrica de semiconductores tiene requisitos estrictos para la precisión de control de temperatura y la eficiencia de disipación de calor del enfriador de agua. el enfriador de agua Semiconductor de temperatura constante guanya admite el control de temperatura multicanal y cubre todo el proceso, desde la fabricación de obleas hasta la prueba de encapsulamiento. es necesario personalizar la selección de acuerdo con las necesidades del proceso.