El vacuómetro inficon es un instrumento utilizado para medir la presión del gas (en un rango de baja densidad de aire por debajo de la presión atmosférica) en una zona de alto vacío. Su principio de funcionamiento se basa en la colisión entre las moléculas de gas y la superficie, así como en las características de movimiento de las moléculas de gas en condiciones de vacío.
Tiene una gran variedad de instrumentos que funcionan de diferentes principios, como el flujo de electrones calientes y aniones de cátodo, la absorción de gran flujo, la medición de presión de volumen y los métodos de vibración. Diferentes medidores de vacío tienen diferentes características y ventajas y desventajas, y pueden seleccionar instrumentos adecuados de acuerdo con las necesidades reales.
Principios básicos del vacunómetro inficon:
Se incluyen dos electrodos, uno de los cuales es un ánodo (tubo de rayos X o cañón de electrones) y el otro es un cátodo (receptor). Cuando se añade una fuente de alimentación de alta tensión, el ánodo emite un haz de electrones que choca con la molécula de gas al pasar por la zona de vacío, ionizando y generando pares de iones electrónicos. Estos pares de iones se mueven impulsados por un campo eléctrico y generan una corriente eléctrica en la superficie del cátodo.
Con diferentes estructuras de electrodos y diseños de circuitos, El medidor de vacío puede lograr diferentes rangos de medición y sensibilidad. Entre ellos, el vacuómetro de cátodo térmico utiliza el principio de emisión de electrones térmicos para producir electrones en la zona de vacío y calcular la presión del gas a través de la colisión entre electrones y moléculas de gas; El vacío de cátodo frío, por su parte, mide la presión atmosférica a través de la adsorción y desorción de gas en la superficie del cátodo, con una sensibilidad más alta que el vacío de cátodo caliente y es adecuado para un rango de medición más amplio.
En resumen, El medidor de vacío infocon tiene una amplia gama de aplicaciones en muchas aplicaciones, como células solares, investigación de materiales en el campo de la microelectrónica, plantas de procesamiento de semiconductores y plantas de fabricación de aviación. Diferentes medidores de vacío tienen diferentes rangos de medición, volúmenes, sensibilidad y otras características. Por lo tanto, al seleccionar y utilizar el cronometraje al vacío, es necesario evaluarlo de acuerdo con la situación real para seleccionar el instrumento adecuado.